? ? ? ? 無錫華瑛微電子技術有限公司致力于半導體濕法處理工藝及設備的研發(fā)與創(chuàng)新，在國家十一五和十二五規(guī)劃以及02重大專項的支持下，成功研發(fā)出具有自主知識產權的“動態(tài)薄層晶圓表面化學處理技術和設備”，主要應用于半導體晶圓表面去膠、腐蝕、清洗、鈍化，以及晶圓雜質及超微量污染提取和相關檢測服務。
? ? ? ?華瑛微電子作為半導體綠色制造的引領者，采用自主創(chuàng)新的“動態(tài)薄層技術DTL”，目前公司已完成對上海新昇、上海集成電路、華潤重慶等設備的交付，與新晟、金瑞泓、華虹無錫、中芯國際等企業(yè)開展合作。目前已獲得國內授權專利57項，國際發(fā)明專利30項，臺灣發(fā)明專利8項。
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